Strömungssensoren

Protron bietet einen hochtemperaturstabilen thermischen Strömungssensor an, der auf einem neuen Herstellungsverfahren basiert, das von IMSAS Bremen entwickelt wurde. Der entscheidende Vorteil dieses neuen Herstellungsverfahrens ist eine hochtemperaturbeständige LPCVD-Passivierungsschicht (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition), die den Sensor für Flüssigkeitsanwendungen, beispielsweise in Hydrauliksystemen, oder für medizinische und biologische Sensoren besonders geeignet macht. Diese Durchflusssensoren eignen sich auch hervorragend zur Messung von Gasdurchfluss in pneumatischen Systemen oder für Windgeschwindigkeitsmessgeräte.
Der thermische Durchflusssensor besteht aus einem zentralen Heizelement und zwei hochpräzisen Thermosäulen vor und hinter dem Heizelement. Diese Komponenten sind auf einer dünnen Membran aus Siliziumnitrid angebracht. Die freistehende Membran dient zur thermischen Isolierung der elektrischen Komponenten und ist aufgrund der minimierten Wärmekapazität und des hohen Miniaturisierungsgrades für das hervorragende dynamische Verhalten verantwortlich.