Willkommen bei Protron Mikrotechnik

Seit 1999 entwickelt und fertigt die Protron Mikrotechnik GmbH leistungsfähige MEMS-Komponenten. Unser Engineering-Team verbindet langjährige Prozesskompetenz mit praktischer Erfahrung in RF-MEMS, Mikrofluidik, mikromechanischen Sensoren und optischen Mikrosystemen. Wir unterstützen die gesamte Entwicklungskette – von der Anforderungsanalyse und FEM-Simulation über die Prototypfertigung und Charakterisierung bis hin zur skalierbaren Serienproduktion auf 100mm und 150mm Fertigungslinien.

Komplette MEMS Entwicklungen – Alles aus einer Hand

  • Konzept & System Design
    • Anforderungendefinition
    • Multiphysik FEM Simulation
    • Layout & Masken Design
  • Prototypen & Prozess Entwicklung
    • Silizium Volumen Mikromechanik
    • Silicon Oberflächen Mikromechanik
    • Backend Prozesse
  • Test & Validieren
    • Struktur & Material Analyse 
    • Laserscanning & Elektronen Mikroskopie
    • Zuverlässigkeitsprüfungen
  • Kleinserien & Volumen Produktion
    • 100mm & 150mm Siliziumwafer Ferigungslinie
    • Prozessstabilitäts-Monitoring
    • Qualitätsmanagement nach ISO 9001:2015

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