Glasbearbeitung
Protron bietet Mikrostrukturen aus Quarzglas und Borofloat-Glas an. Neben gängigen Nassätztechnologien bieten wir neueste 3D-Mikrobearbeitungstechnologien für die Realisierung komplexer Glasstrukturen an.
Spezifikationen
- Minimale Strukturgröße: 20 µm
- Maximale Strukturgröße: 120 mm x 100 mm x 6 mm
- Typische Rauheit: 1 µm Rz
- Laterale Genauigkeit: 2 µm
- Vertikale Genauigkeit: 3 µm
- Positionsgenauigkeit: <1 µm
- 2D- und 3D-Designs möglich
Anwendungen
- Mikrostrukturen in Quarzglas
- Mikrostrukturen in Borofloat-Glas
- 3D-Mikrofluidik-Geräte
- Glasfaser-Ausrichtungsstrukturen
- MEMS-Abdeckwafer
- Vakuum-Greifwerkzeuge
- Einspritzdüsen
