Mikrooptik

Mikrooptische Komponenten und Systeme werden in der Informations- und Telekommunikationstechnik, in optischen Speichergeräten sowie in Mess- und Analysegeräten eingesetzt. Typische Komponenten sind Faserkoppler/-verbinder, Wellenleiter, Linsen, Spalten, Gitter und Spiegel, die aus Silizium, Glas oder Polymeren hergestellt werden können. Protron Mikrotechnik verwendet nasschemisches Siliziumätzen und tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE) für die Herstellung mikrooptischer Komponenten. Diese Technologien ermöglichen die Herstellung hochpräziser Teile in Kombination mit einer hohen Designflexibilität.