Kapazitive Drucksensoren
Protron hat einen Absolutdrucksensor entwickelt, der auf einem ultrakleinen, oberflächenmikromechanisch bearbeiteten kapazitiven Sensorelement basiert. Durch die Wahl von Quarzglas als nichtleitendem Substratmaterial werden alle parasitären Kapazitäten zum Substrat eliminiert. Der Sensor zeichnet sich durch eine langfristig hohe Genauigkeit und eine im Vergleich zu piezoresistiven Drucksensoren sehr geringe Hysterese aus. Protron bietet Sensor-Chips und Evaluierungsboards mit anwendungsspezifischen ASICS an.
Spezifikationen
- Druckbereiche: 0,3–1,3 bar / 2–8 bar
- Auflösung: 0,02 mbar bei 1 bar
- Chipgröße 0,6 x 1,2 x 0,5 mm3
- SMD-Gehäuse für Sensorchip 3 x 3 mm²
- QFN-Gehäuse für Sensor und ASIC 5 x 5 mm²
- I²C-Digitalausgang
- Geringer Stromverbrauch
- Sehr geringe Hysterese
Evaluierungsmuster
- Kapazitiver Sensor-Chip (0,6 mm x 1,2 mm x 0,5 mm)
- Kapazitiver Sensor-Chip in einem keramischen SMD-Gehäuse (3 mm x 3 mm)
- Kalibriertes kapazitives Sensorsystem (Chip und ASIC in einem 5 x 5 mm SMD-Gehäuse)
- Evaluierungsplatine für kapazitives Sensorsystem (kalibriertes System in einem 5 x 5 mm SMD-Gehäuse, auf einer Leiterplatte mit Stiftleisten verlötet)
- USB-Mikrocontroller-Platine mit Auslesesoftware für Evaluierungsplatine
